EBCMOS混合型光电探测器研究

发布时间：2017-08-19 07:25

  本文关键词：EBCMOS混合型光电探测器研究

  更多相关文章： 电子轰击互补金属氧化物 混合型光电探测器 光电阴极 电子轰击半导体(EBS)增益 激光雷达

【摘要】：介绍了EBCMOS探测器的工作原理、器件结构与发展历史。详细阐述了EBS增益机理,实现了600倍的EBS增益,并将EBCMOS与几种常见探测器特性进行了深入的对比研究。EBCMOS探测器将真空器件与半导体器件有机结合,融合了真空光电探测器增益高、响应速度快、光谱灵活和半导体器件空间分辨率高、数字化输出、功耗低和成本低等优点。目前已在生物检测、微光夜视、激光雷达等诸多领域取得了广泛的应用。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第五十五研究所;
【关键词】： 电子轰击互补金属氧化物 混合型光电探测器 光电阴极 电子轰击半导体(EBS)增益 激光雷达
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61605180)
【分类号】：TN15
【正文快照】： 引言低照度条件下的微弱信号探测成像技术凭借其在军事和民用两大领域内的广泛应用背景,历来是世界各国争相研究的热点。从光电探测原理角度出发,目前光电探测器主要分为三大类:第一类主要是真空光电器件中的像增强器和光电倍增管;第二类以半导体光电探测器为主,包括低照度CMO

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本文编号：699422