S-4700型扫描电子显微镜的结构与操作注意事项

发布时间：2017-08-21 11:25

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【摘要】：主要介绍了日立S-4700型扫描电子显微镜基本结构特点,以及该仪器在操作过程或日常维护中需要注意的几个方面。扫描电子显微镜的结构主要包括真空系统、电子光学系统和信息接收显示系统3个主要部分。本文针对S-4700型扫描电子显微镜分别对如何保证良好的真空条件;电子光学系统中的电子枪、电子透镜、扫描系统和消象散装置的结构与工作原理;以及信息接收显示系统中的二次电子检测器的结构与工作原理进行了简单的介绍。对应于以上的结构介绍,对仪器在日常维护中可能出现的问题进行了简单的分析。
【作者单位】： 苏州大学分析测试中心;
【关键词】： S-型扫描电子显微镜 结构 维护
【分类号】：TN16
【正文快照】： 扫描电子显微镜(scanning electron micro-scope)简称SEM,是近几十年来迅速发展并成熟的一种电子光学仪器,它是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种用于观测微区形貌的手段[1]。简单来讲,就是用聚焦的很细的电子束光栅式的逐点扫描要检测的样品表面,由于电子束与样品相互作用

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本文编号：712611