140GHz多注折叠波导结构的特性与微铣削工艺研究

发布时间：2017-08-29 02:01

  本文关键词：140GHz多注折叠波导结构的特性与微铣削工艺研究

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【摘要】：多个电子注是提升THz辐射源输出功率的一种有效办法,折叠波导是一类广泛应用于THz行波管的慢波结构,为此本文对一种三注折叠波导结构进行了研究。首先,完成了该结构冷测特性与注波互作用特性的理论分析,获得了一组优化的结构参数;其次,由于折叠波导结构具有准二维的特点,突破微铣削工艺相关关键技术,完成了该结构的制作;最后,搭建实验测试平台完成了该结构传输特性的测试,并与设计结果进行比较。模拟结果表明:中心频率点在140GHz、注电压与电流分别为9.55kV与12mA、输入功率为10mW时,同单注结构相比,输出功率从1.82提升到了12.73W;电子效率从1.59%高到了3.7%;传输特性的实验值同设计值保持了很好的一致性。该方法为THz行波管输出功率和电子效率的提高提供了新的参考。
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【关键词】： 多注 微铣削 GHz 折叠波导 传输特性
【基金】：中物院超精密加工技术重点实验室资助(ZZ15007)
【分类号】：TN124
【正文快照】：

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本文编号：750674