基于动态适应度函数的光源掩模优化方法

发布时间：2017-08-30 12:31

  本文关键词：基于动态适应度函数的光源掩模优化方法

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【摘要】：提出了一种基于动态适应度函数的光刻机光源掩模优化方法(SMO)。动态适应度函数方法在遗传算法优化过程中采用动态适应度函数模拟真实光刻工艺条件误差对光刻结果的影响,得到对光刻工艺条件误差不敏感的优化光源和优化掩模。该方法无需优化权重系数,即可获得与权重优化后的加权适应度函数方法相近的工艺宽容度。典型逻辑图形的仿真实验表明,曝光剂量误差为15%时,动态适应度函数方法得到的优化光源和优化掩模的可用焦深达到200 nm,与加权适应度函数方法的优化效果相当。动态适应度函数方法也可用于降低SMO的优化光源和掩模对其他工艺条件误差如彗差的敏感度。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 光学设计 光刻 光源掩模优化 分辨率增强技术 遗传算法 适应度函数
【基金】：国家自然科学基金(61275207,61205102)
【分类号】：TN305.7
【正文快照】： 1引言光刻是超大规模集成电路制造的核心技术之一。光源掩模优化方法(SMO)同时优化光源照明模式和掩模图形。和传统的分辨率增强技术如光学临近修正技术(OPC)相比,SMO具有更大的优化自由度,是进一步提高光刻的分辨率和工艺窗口的关键技术之一[1]。T Fühner等[2-3]提出了一种

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本文编号：759322