基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

发布时间：2017-09-02 12:42

  本文关键词：基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

  更多相关文章： 成像系统 光学制造 光刻 偏振像差 泡利-泽尼克系数 偏振像差测量

【摘要】：提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标定的偏振像差灵敏度矩阵计算获得泡利-泽尼克系数。采用光刻仿真软件对本文方法的有效性进行了验证,结果表明其检测精度优于3.07 mλ。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学;新疆师范大学物理与电子工程学院;中芯国际集成电路制造有限公司;
【关键词】： 成像系统 光学制造 光刻 偏振像差 泡利-泽尼克系数 偏振像差测量
【基金】：国家自然科学基金(61275207,61205102,61474129,61405210)
【分类号】：TN305.7
【正文快照】： 随着光刻特征尺寸的不断减小,光刻机的偏振效应越来越突显。作为光刻机偏振效应的一个主要来源,投影物镜的偏振像差会引起图形位置偏移(IPE)、最佳焦面偏移(BFS)和图形特征尺寸(CD)误差等,导致成像质量和工艺窗口的恶化[1-3]。当采用高数值孔径(NA)投影物镜和偏振照明时,偏振，

本文编号：778655