面向半导体制造的大数据分析平台

发布时间：2017-09-03 00:30

  本文关键词：面向半导体制造的大数据分析平台

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【摘要】：为充分利用半导体制造过程产生的大量数据,发掘数据中蕴含的价值,对半导体制造过程进行分析、预测和调控,建立了半导体制造大数据分析平台。归纳得出了半导体制造过程中大数据的特性,提出了半导体制造大数据分析体系架构,分析了其关键技术和实现方法。根据半导体制造过程中大数据的使用特点,将数据导入、去重、筛选、标准化等共性操作归入平台通用预处理层;预处理后的数据进入数据仓库层,在数据仓库中按主题进行组织;最上方的专用处理算法层根据上层应用的特定数据要求,从数据仓库中抽取数据,使用专用算法进行处理,为其提供标准化、可靠、可复用的数据资源。最后基于半导体制造企业的实际情况搭建了原型系统,对半导体制造过程产生的大量实际数据进行导入、存储、组织和预处理,并进行了性能测试和常用统计分析算法测试。
【作者单位】： 上海交通大学机械与动力工程学院;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
【关键词】： 大数据 制造过程数据 半导体制造 分布式处理 Hadoop
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51435009,51275307)~~
【分类号】：TN305;TP311.13
【正文快照】： 2.中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203)0引言半导体制造是半导体集成电路产业的核心和基础。它基于薄膜工艺、图形化工艺、掺杂工艺、热处理工艺4种基本工艺,通过大量的工艺组合和工艺变化,在晶圆表面和表面内制造出满足特定功能的半导体器件[1]。半导体制造系统

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本文编号：781821