亚波长抗反射光栅的设计

发布时间：2017-09-04 00:31

  本文关键词：亚波长抗反射光栅的设计

  更多相关文章： 光栅 亚波长结构 等效介质理论 半导体激光器

【摘要】：设计了一种具有波长和偏振模式选择特性的GaAs材料的亚波长抗反射光栅,工作波长为976nm。采用等效介质理论与薄膜理论对光栅进行初步设计,基于严格耦合波法依次对光栅占空比、脊高和周期进行优化确定,同时分析了各个参数对光栅透射率的影响。所设计的抗反射光栅分别具有99.99%(横电模)和99.86%(横磁模)的高透射率,并且在976nm±30nm的范围内保持99%以上的高透射率,满足器件应用要求。最后研究了工艺误差导致的光栅非矩形形貌对光栅透射率以及偏振优势模式的影响。
【作者单位】： 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室;
【关键词】： 光栅 亚波长结构 等效介质理论 半导体激光器
【分类号】：TN202
【正文快照】： 亚波长光栅是一种典型的亚波长衍射光学元件,具有抗/增反射、偏振双折射、低吸附性、大角度范围高透射率、高耐久性与高损伤阈值等优良特性。随着近年来微加工技术的发展及相应理论的日渐成熟,具有特殊性能的亚波长光栅备受青睐,广泛应用于多种光学器件及光源,如偏振耦合器[1-

【相似文献】

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 赵秋丽;张德建;李洪国;徐德芹;赵姣姣;王海波;汪凯戈;熊俊;;混沌水波的亚波长干涉[A];第十六届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2014年

2 谢小涛;;亚波长周期介质中的少周期脉冲孤子[A];第十四届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2010年

3 许吉;;双层亚波长金属栅结构中的透射抑制现象及单向透射行为[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

4 刘建丰;;利用亚波长人工材料实现太赫兹滤波[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

5 任智斌;金传广;马驰;;亚波长光栅在红外波段窄带滤光技术中的应用[A];黑龙江、江苏、山东、河南、江西 五省光学（激光）联合学术‘13年会论文（摘要）集[C];2013年

6 周晨;程营;刘晓峻;;调控温度实现的宽带亚波长成像[A];中国声学学会第十届青年学术会议论文集[C];2013年

7 叶鑫;;亚波长光栅的制备与光学性能研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

8 明海;;新结构、新材料的表面等离子体亚波长光学(SPSO)特性及其应用[A];介观光学及其应用研讨会论文集[C];2007年

9 张岩;王艳花;孟阔;;太赫兹波段亚波长狭缝的共振带隙[A];第七届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];2007年

10 杨金雷;刘倩;曹烁晖;赵爽;李耀群;;亚波长锥形单孔内荧光增强[A];第八届全国化学生物学学术会议论文摘要集[C];2013年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 余慕欣;基于平板超透镜的可调谐亚波长成像和光刻研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年

2 谢素霞;亚波长周期结构的超强光透射及其调控的研究[D];中南大学;2011年

3 杜骏杰;人工电磁材料及其在亚波长集成光学中的应用[D];复旦大学;2009年

4 蒲明博;亚波长结构材料的宽带频率响应特性研究[D];中国科学院研究生院（光电技术研究所）;2013年

5 闵长俊;亚波长金属结构中表面等离子体调控机理及应用研究[D];中国科学技术大学;2008年

6 许永豪;亚波长直径氧化硅光纤和液芯光纤理论分析、实验制备和应用研究[D];上海交通大学;2010年

7 伊德尔;多波长光盘头合分束实现方法及亚波长光栅偏振器件研究[D];清华大学;2003年

8 刘玉玲;亚波长衍射微透镜的严格矢量分析[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2004年

9 郭艳;亚波长金属结构对光波异常传输的FDTD数值模拟研究[D];南开大学;2012年

10 吴敬波;超导超构材料及亚波长小孔阵列的太赫兹光谱研究[D];南京大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 梁晓斌;亚波长光栅阵列波前传感技术基础研究[D];北京理工大学;2015年

2 杨穆;基于亚波长同轴腔结构的光子角动量态调控[D];南开大学;2015年

3 杨濵鹏;基于亚波长结构的光学OAM产生和调制方法研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2016年

4 陈鹏杰;亚波长结构宽波段抗反射工艺的研究[D];电子科技大学;2013年

5 霍丙忠;金属亚波长孔径的增强透射效应[D];烟台大学;2009年

6 陈俞荣;基于锥形微纳光管的亚波长聚焦及其应用的研究[D];浙江大学;2012年

7 彭若冰;光波段亚波长结构的辐射特性研究[D];中国科学院研究生院（光电技术研究所）;2013年

8 王伟;二维亚波长周期结构光子器件研究[D];南京邮电大学;2013年

9 胡滨;亚波长结构金属光学元器件局域场增强和散射特性的研究[D];北京交通大学;2006年

10 朱德锋;太赫兹波在亚波长结构表面的共振与散射实验研究[D];华中科技大学;2012年

，

本文编号：788293