硅同位素的应用及分离研究进展
本文关键词:硅同位素的应用及分离研究进展
【摘要】:介绍了同位素纯硅材料的应用研究进展,综述了低温精馏法、激光法、气体离心法、化学交换法等方法在硅同位素分离领域的研究进展,分析了目前工业化过程分离硅同位素存在的问题,指出化学交换法将是实现硅同位素工业化分离的最优路径.
【作者单位】: 渤海大学化学化工学院;
【关键词】: 硅同位素 同位素分离 化学交换
【基金】:国家自然科学基金项目(No:21606023) 辽宁省博士科研启动基金项目(No:201501198)
【分类号】:TN304.12;O611.7
【正文快照】: 0引言在现代电子和半导体工业中,硅材料获得了广泛的应用,超过90%的半导体元器件都是由硅制成的.天然硅含有三种稳定的同位素28Si、29Si、30Si,其丰度分别为92.23%,4.67%,3.10%〔1〕.近年来,同位素纯的硅材料以其优良的特性开始受到科学家们的关注.1同位素纯硅材料的应用1.128
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,本文编号:792762
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