基于Si-BCB工艺Ka波段双模带通滤波器

发布时间：2017-09-04 20:26

  本文关键词：基于Si-BCB工艺Ka波段双模带通滤波器

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【摘要】：介绍了一种应用于毫米波晶圆级集成基于Si-BCB工艺的Ka波段双模带通滤波器。微带线结构的全波长谐振器具有低辐射特性,全波长环形阶跃阻抗谐振器(step impedance resonator,SIR)有两种正交谐振模式,可以减小滤波器尺寸。通过对基于环形谐振器的双模滤波器进行奇偶模分析,确定谐振器的设计参数。采用宽边耦合结构设计输入输出端口,具有高耦合度。仿真结果表明中心频率35GHz,通带内插损1.2dB,回波损耗优于30dB,BW3dB为15%。最后,采用Si-BCB工艺制作滤波器并完成测试。测试结果为中心频率33.3GHz,通带内插损1.17dB,回波损耗优于30dB,BW3dB为18%。测试结果与仿真结果基本吻合。
【作者单位】： 上海大学通信与信息工程学院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【关键词】： Si-BCB工艺 SIR滤波器 双模 宽边耦合
【基金】：国家重大仪器项目(2012YQ14003702)资助
【分类号】：TN713.5
【正文快照】： 1引言毫米波技术在无线通讯和雷达系统的应用日益增多,保证性能的同时要求电路尺寸小,工艺兼容度高。其中,微带/带状[1-3]滤波器具有小尺寸,易加工,易兼容的特点,发展前景很大。一般情况下,基于系统级封装(system in packa-ge,SIP)工艺的多层低温共烧陶瓷(low temperature co-

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