光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究

发布时间：2017-09-05 18:40

  本文关键词：光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究

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【摘要】：实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法。基于法布里珀罗(F-P)标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量。整个测量装置体积小、成本低,在500~3 000 Hz高重频条件下,实现了亚pm量级的测量精度,标准差低于0.1pm,取得了较好的实验结果。
【作者单位】： 中国科学院光电研究院;北京市准分子激光工程技术研究中心;中国科学院大学;
【关键词】： 准分子激光器 光刻 中心波长 在线测量
【基金】：国家自然科学基金(61405202) 中国科学院光电研究院创新(Y50B17A12Y)资助项目
【分类号】：TN248
【正文快照】：

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 吴博琦;董连和;孙艳军;冷雁冰;王丽;;用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究[J];光电子·激光;2016年03期

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【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

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本文编号：799657