GaN基蓝光VCSEL的制备及光学特性

发布时间：2017-09-16 04:04

  本文关键词：GaN基蓝光VCSEL的制备及光学特性

  更多相关文章： 氮化镓 垂直腔面发射激光器 激光剥离技术 光泵浦 激射

【摘要】：利用金属有机物气相沉积技术(MOCVD)在(0001)蓝宝石衬底上生长了Ga N基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的多量子阱腔层结构。X射线衍射测量显示该多量子阱具有良好周期结构和平整界面。运用键合及激光剥离技术将该外延片制作成VCSEL,顶部和底部反射镜为极高反射率的介质膜分布布拉格反射镜(DBR)。在室温、紫外脉冲激光的泵浦条件下,观察到了VCSEL明显的激射现象,峰值波长位于447.7 nm,半高宽为0.11 nm,自发辐射因子约为6.0×10-2,阈值能量密度约为8.8 m J/cm2。在大幅度降低制作难度的情况下,得到目前国际最好结果同样数量级的激射阈值。降低器件制作难度有利于制备的重复性,有利于器件的产品化。
【作者单位】： 厦门理工学院光电与通信工程学院;福建省光电信息材料与器件重点实验室;厦门大学信息学院电子系;
【关键词】： 氮化镓 垂直腔面发射激光器 激光剥离技术 光泵浦 激射
【基金】：国家自然科学基金(61307115) 福建省教育厅A类科技项目(JA12249) 厦门理工学院高校高层次人才基金(YKJ11026R) 福建省自然科学基金(2013J05104)资助项目
【分类号】：TN248
【正文快照】： 1引言本世纪以来,Ga N基光电子器件正经历快速发展阶段,其中LED和边发射激光器已经实现产业化,但是具有更优越特性的垂直腔面发射激光器(VCSEL)仍处于实验室研究阶段。垂直腔面发射激光器的独特优点包括阈值电流低、易实现单纵模工作、调制频率高、发散角度小、圆形光斑、易与

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈弘达,申荣铉,毛陆虹,唐君,梁琨,杜云,黄永箴,吴荣汉,冯军,柯锡明,刘欢艳,王志功;16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块(英文)[J];半导体学报;2003年03期

2 赵鼎,林世鸣;确定VCSEL电势及载流子自洽分布算法的研究[J];半导体学报;2003年10期

3 赵鼎,林世鸣;基于矢量光场的VCSEL数值模型[J];半导体学报;2003年12期

4 杨宜,阮玉,宋镜明,柳光全,孙朝阳,林斌;VCSEL偏振相关特性的实验研究[J];光电子技术与信息;2003年03期

5 赵鼎,林世鸣;VCSEL稳态热特性分析[J];光电子·激光;2004年01期

6 张伟利,潘炜,罗斌,邓果;基于谱估计法的VCSEL噪声特性研究[J];激光杂志;2004年02期

7 刘成,吴惠桢,劳燕锋,黄占超,曹萌;气态源分子束外延1.3μm VCSEL器件结构[J];功能材料与器件学报;2005年02期

8 吴惠桢,刘成,劳燕锋,黄占超,曹萌;掩埋隧道结的研制及其在1.3μm VCSEL结构中的应用[J];江西科学;2005年05期

9 颜晓河;对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的应用探讨[J];温州职业技术学院学报;2005年01期

10 王焕钦;赵天鹏;徐军;何德勇;吕亮;桂华侨;黄伟;明海;谢建平;;Optimized design of laser range finding system using the self-mixing effect in a single-mode VCSEL[J];Chinese Optics Letters;2006年02期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 陈光秒;陈军;葛剑虹;朱小平;;垂直腔面发射激光器(VCSEL)在自由空间通信中的应用研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

2 桂华侨;黄伟;汪洪波;吕亮;谢建平;赵天鹏;许立新;吴云霞;明海;;聚合物光纤传光的VCSEL自混合测振系统特性研究[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年

3 韶海铃;王荣;;新一代光通信激光管VCSEL[A];2005通信理论与技术新进展——第十届全国青年通信学术会议论文集[C];2005年

4 谢志国;郑荣升;林开群;阎杰;张永生;;基于可见光VCSEL的聚合物光纤高速信号传输[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年

5 ;A Proposal of Integrated RSNOM-RW Scanning Head Array for Ultrahigh Density and Ultrahigh Rate Optical Memory with VCSEL-Tip[A];2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集[C];2003年

6 丁松鹤;马玲;赵俊;;高精度VCSEL激光器自动温控系统设计[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十六届全国空间探测学术研讨会会议论文集[C];2013年

7 王科;郑婉华;张冶金;任刚;杜晓宇;邢名欣;陈良惠;;光子晶体垂直腔面发射激光器的模式分析[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年

8 Wei-Chou Hsu;Tsin-Dong Lee;Chih-Hung Chiou;;Single Mode InGaAs Photonic Crystal Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers emitting at 1170nm[A];Proceedings of the Eighth Chinese Optoelectronics Symposium[C];2006年

9 王习东;丁松鹤;王劲东;朱晓;赵华;;基于Rb87相干布局囚禁的激光驱动系统研究[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十六届全国空间探测学术研讨会会议论文集[C];2013年

10 马莹;;垂直腔面发射激光器直接倍频的研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年

中国重要报纸全文数据库 前1条

1 记者 李双艺 通讯员 李蓉;开发出百瓦级微型化高功率半导体激光模块[N];吉林日报;2014年

，

本文编号：860752