太赫兹用石英基板微带电路制作工艺技术

发布时间：2017-09-18 01:17

  本文关键词：太赫兹用石英基板微带电路制作工艺技术

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【摘要】：随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹频段,常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出,石英基材将成为星载微波电路板的首选。但由于石英基材自身的特点以及高频段应用的特殊要求,石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟。文章通过对石英基板材料特性、工艺流程、关键工艺技术进行分析,提出了电路制作应注意的技术要领,以及工艺难点的解决方法。
【作者单位】： 中国空间技术研究院西安分院;
【关键词】： 石英 太赫兹 微带电路 薄膜工艺
【分类号】：TN454
【正文快照】： 薄膜微带电路广泛应用于星载微波有源分机,随着卫星应用频段的不断提高和应用领域的不断开拓,开发用于毫米波、太赫兹(THz)频段的微带电路制作技术势在必行[1]。THz频段是指典型频率范围在0.1 THz~10 THz(波长3 mm~30μm)的频带范围,在长波段与毫米波相重合,在短波段与红外光

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本文编号：872517