硅片方块电阻计量标准装置研制

发布时间：2017-09-22 15:31

本文关键词：硅片方块电阻计量标准装置研制

【摘要】：对测量方块电阻的双配置四探针法进行了研究,从理论上分析了该方法的优点:测量结果与探针间距无关,可使用不等间距探针头,具有自动修正边界影响的功能,不必寻找修正因子,论述了RS大小样片及边界附近的测试原理,给出了RS的计算公式。研制了基于双配置四探针法的硅片方块电阻计量标准装置,论述了该装置的软硬件设计,为校准硅片方块电阻标准样片提供了技术手段。解决了硅片方块电阻参数的量值传递问题。
【作者单位】：中国电子技术标准化研究院;
【关键词】： 方块电阻 双配置四探针法 计量标准装置
【分类号】：TN405
【正文快照】： 1引言随着科技的进步,微电子技术的发展可以说日新月异,电路的集成化程度也越来越高,电路的功能也越来越强大,对制作集成电路的各种半导体芯片的质量的要求也越来越高。方块电阻参数是与芯片制作工艺过程相关的重要参数,方块电阻参数不仅影响材料特性而且影响器件特性,方块电

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