一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路

发布时间：2017-09-22 16:19

  本文关键词：一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路

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【摘要】：微机械陀螺的闭环驱动电路中通常采用两相位同频信号维持驱动环路谐振,但系统引入误差较大。提出了一种新的硅微机械陀螺四相位驱动系统,将四相位半频驱动电压加载到具有四组驱动电极的结构上,使系统维持在谐振频率上。采用该驱动电路,耦合到输出端的干扰信号为谐振频率的一半,只需采用适当的高通滤波器即可消除干扰信号对输出的污染,同时提高了系统的信噪比。采用0.5μm CMOS工艺进行设计,版图尺寸约为2.8mm×2.8mm,测试结果表明该四相位驱动电路能很好地满足陀螺系统驱动模态维持谐振的要求。
【作者单位】： 华东光电集成器件研究所;
【关键词】： MEMS陀螺仪 四相位驱动 角速度检测 锁相环 信噪比
【基金】：国家核高基基金资助项目(2014ZX01021101-002)
【分类号】：TN432;TP212
【正文快照】： 1引言微机械陀螺自1980年问世以来,就是一种相对新型的惯性传感器。这些传感器的性能参数从1990年到2000年,每隔2年就提高10倍,但最近几年,当陀螺零偏稳定性达到10°/h以后,发展速度有所放慢。相比传统传感器,MEMS振动陀螺具有体积小、重量轻、成本低等特点,这使得MEMS陀螺仪

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本文编号：901817