光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性

发布时间：2017-09-23 11:13

  本文关键词：光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性

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【摘要】：高精度光刻投影物镜在工作过程中吸收激光能量产生热像差,在离轴照明模式(如偶极照明)下,热像散显著且随时间变化,传统的被动光学方法无法补偿此类像差。提出在折射式光刻投影物镜系统中使用主动光学的方法,通过力促动器作用在透镜上使镜片变形以补偿初阶热像散。采用有限元分析方法,分析了简化的折射平板在促动力作用下的变形特点和像差特性;用几何光学理论近似论证了该补偿方案的可行性,并且分析了促动器分布、促动力大小、促动器与平板接触区域尺寸以及支撑结构对平板变形的影响。结果表明,在优化的支撑结构下,主动平板可以较好地补偿系统初阶热像散和初阶四叶像差,为光刻系统热像差的补偿提供了一个思路。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散
【基金】：科技部中白合作项目(2011DFR10010) 吉林省自然科学基金(20140203001GX)
【分类号】：TN305.7
【正文快照】： 1引言高精度光刻投影物镜在长时间工作过程中,由于镜片吸收热量造成温度升高,导致折射率、面型以及应力状态改变,从而产生热像差,系统分辨率明显降低。为了减小装调误差及装调应力的影响,光刻物镜中部分透镜单元可以通过微调机构进行姿态调整,以补偿由误差引起的倾斜以及关于

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