高压LED阵列电学特性的优化方法的研究

发布时间：2017-09-23 15:46

  本文关键词：高压LED阵列电学特性的优化方法的研究

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【摘要】：高压LED制备工艺中,优化电极参数是获得均匀分布电流,改善电流输运特性,提高器件出光效率的主要方法之一。改进不同隔离层制备工艺参数与电极参数,抽样检测样品,对结果分析发现,Cr/Au电极厚度分别达到500 nm/300 nm后,总体提高了高压LED的电流输运特性,减少了高压LED漏电现象,增强了高压LED的电学稳定性,改善了金属电极厚度对高压LED的影响。通过二步法制备隔离层,改变LED工艺参数及隔离层倾角,制备出正向电压约12 V的串联高压LED。
【作者单位】： 电子科技大学中山学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室中山分实验室;北京工业大学北京光电子技术实验室;
【关键词】： 氮化镓 电极参数 高压LED 电流输运特性 光输出功率 电学特性
【基金】：国家支撑计划项目(2011BAE01B14) 北京市教委基金项目(KM201210005004) 北京市15青年拔尖项目(311000543115501) 中山市科技计划项目(2014A2FC305) 北京市教委项目(PXM2014_014204_500008) 电子薄膜与集成器件国家重点实验室中山分室开放基金(412S0601)
【分类号】：TN312.8
【正文快照】： 0引言近年来,高亮氮化物LED已经成为新一代主要照明光源,广泛应用到各领域中,如交通信号灯、全色显示、液晶显示等[1-2]。与传统光源相比,Ga N基LED具有窄带隙、机械稳定性强,寿命长、发光效率高、耗电量小、发热低、环保节能等优点[3]。虽然Ga N基LED已经进入商业化生产阶段,，

本文编号：906130