ArF准分子激光系统的能量效率特性

发布时间：2017-09-24 15:44

  本文关键词：ArF准分子激光系统的能量效率特性

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【摘要】：为深入理解ArF准分子激光系统的运转机制,进而获得优化ArF准分子激光系统设计的理论及方向性指导,利用一维流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,梳理了ArF准分子激光系统的能量传递过程,深入研究了等离子体放电机理,从能量沉积效率、ArF*粒子形成过程、激光输出三个方面,分析了动力学过程中影响能量效率的主要因素,提出了相应的改进优化措施.仿真结果表明,氟气及相关粒子在系统运转过程中有重要作用,工作气体中氟气的组分比例对能量效率影响较大,偏离最佳点会导致激光系统能量效率的下降.相关结论为ArF准分子激光系统的优化设计和稳定可靠运转提供了重要的理论参考依据.
【作者单位】： 中国科学院光电研究院;北京市准分子激光工程技术研究中心;中国科学院大学;华中科技大学武汉光电国家实验室;
【关键词】： ArF准分子激光 能量效率 流体模型 电子密度
【基金】：中国科学院光电研究院创新基金(批准号:Y50B16A12Y) 国家科技重大专项(批准号:2013ZX02202)资助的课题~~
【分类号】：TN24
【正文快照】： 1引言 目前,Ar F准分子激光系统是国际半导体光刻机的主流光源[1],由于激光系统的能量效率直接关系到激光器的整体输出性能,因而对Ar F准分子激光系统的能量效率特性进行综合分析非常重要.通过数值模拟,探讨准分子激光系统的放电动力学过程,深化理解能量转移过程及能量利用效

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本文编号：912259