基于位置敏感器件的高精度激光位置检测系统

发布时间：2017-09-29 01:33

  本文关键词：基于位置敏感器件的高精度激光位置检测系统

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【摘要】：光电非接触式测量方法对实现微位移测量具有重要意义,位置敏感器件(PSD)是实现光斑位置探测的传感器件,其探测精度以及基于该器件的数据处理方法直接影响位置测量精度。依据PSD各电极输出的光电流大小反比于入射光位置到各电极之间距离的工作原理,设计了二维激光位置检测系统方案。为了提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和位置探测精度,重点研究了信号调理电路设计、参数匹配、滤波方法与实时并行计算方法。实验结果表明:在±2mm方形区域内,基于PSD所设计的探测系统单点稳定性精度优于2μm,能够满足依托项目中激光跟踪仪对空间目标准确定位的要求以及基于激光位置检测的高精度实时微位移测量相关应用的需求。
【作者单位】： 中国科学院光电研究院光电工程部;
【关键词】： 测量 激光位置检测 信号处理 位置敏感器件 位置精度
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120022)
【分类号】：TH744.5
【正文快照】： 近年来,随着激光器单色性、方向性等性能的提高,通过激光进行定位、测量位移的光学非接触测量技术081202-1在空间光通信、工业测量、激光制导、激光准直、太阳跟踪等领域得到了广泛应用。基于激光的微位移测量系统以光电器件为桥梁,将像光转换成电信号,通过对电信号的采集、处

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1 杨秀芳,郭彦珍;交流光栅位置检测系统[J];西安理工大学学报;2001年03期

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本文编号：939262