ADT 7100砂轮划片机工作台与刀盘座的参数分析

发布时间：2017-10-02 17:22

  本文关键词：ADT 7100砂轮划片机工作台与刀盘座的参数分析

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【摘要】：对于金刚石砂轮划片机,工作台与刀盘座的质量和它们之间定位对划片质量有着重要的影响。基于以色列ADT公司的产品ADT7100划片机,介绍了工作台的平面度、刀盘端面的跳动误差以及刀盘端面与X轴的平行度等参数,分析了这些参数对划片质量和砂轮刀的影响;并结合实际,提出了针对这些参数的测量方法和超过标准的解决方法。
【作者单位】： 南京电子器件研究所;
【关键词】： 划片机 工作台 刀盘座
【分类号】：TN305
【正文快照】： 金刚石砂轮划片机是圆片分离设备的一种,它采用高速旋转的金刚石砂轮将已做好元器件的晶圆分割成独立的单元。工作台固定晶圆,刀盘座是固定砂轮,这两者的属性和它们之间的位置关系对划片质量有着直接的影响。其中工作台平面度差使划切量不一致;刀盘端面的端面圆跳动、刀盘座上，

本文编号：960871