应用于集成传感器的高精度接口芯片设计
本文关键词:应用于集成传感器的高精度接口芯片设计
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【摘要】:针对集成传感器接口信号微弱,对低频噪声敏感的特性,设计了一种高精度低失调的传感器接口芯片。采用嵌套斩波运放可编程增益放大器结构,隔离放大传感器感测到的模拟信号。ADC采用增量三阶单环单比特量化sigma-del ta调制器,积分电路运用了相关双采样技术,有效抑制了传感器接口电路的低频噪声。芯片采用0.18μm CMOS双层多晶硅五层金属工艺实现,测试结果表明,增量sigma-delta ADC的SNDR达到了90.8 d B,有效位数达到14.79位。
【作者单位】: 华中科技大学光学与电子信息学院;武汉群茂科技公司;华中科技大学自动化学院;
【关键词】: 集成传感器 嵌套斩波 sigma-delta调制器 相关双采样
【分类号】:TN402;TP212
【正文快照】: 0引言微机械(MEMS)系统广泛应用于压力传感器,重力传感器,陀螺仪等。微机械系统的优势在于可用现有集成电路工艺制造,如CMOS。因此基于微机械系统,现代微电子技术制造工艺的传感器系统具有易集成、功耗低、成本低、可靠性高等特点[1]。微机械传感器与数字输出的接口ASIC构成集
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,本文编号:984729
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