TSV三维集成的缺陷检测技术

发布时间：2017-10-07 00:13

  本文关键词：TSV三维集成的缺陷检测技术

  更多相关文章： 硅通孔(TSV) 三维(D)集成 缺陷检测 电学检测 光学检测 声学检测 X射线检测

【摘要】：硅通孔(TSV)三维集成以其集成密度大、互连延时短以及潜在经济效益高等优势迅速成为了研究热点,三维集成的缺陷检测技术对于优化制造工艺、降低生产成本以及提高器件可靠性等方面均具有十分重要的意义。总结了TSV三维集成缺陷检测面临的巨大挑战,详细介绍了四类缺陷检测方法,包括电学检测方法、光学检测方法、声学检测方法以及X射线检测方法,讨论了这些方法应用于三维集成缺陷检测的原理、特性、不足以及需要解决的关键问题。未来三维集成缺陷将愈加复杂,需要不断加强缺陷的生成和演变机理研究,丰富缺陷检测方法,并持续改善各类方法的检测精度、稳定性以及检测效率。
【作者单位】： 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室;
【关键词】： 硅通孔(TSV) 三维(D)集成 缺陷检测 电学检测 光学检测 声学检测 X射线检测
【基金】：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2015CB057205)
【分类号】：TN407
【正文快照】： 0引言集成电路自诞生已有超过半个世纪的历史,其发展一直遵循摩尔定律,随着器件集成度不断提高、特征尺寸持续减小,其在材料、工艺、互连延时、功耗等方面均遭遇难以逾越的瓶颈。传统集成电路的规模已经逼近物理极限,发展思路也由一贯的延续摩尔定律转变为超越摩尔定律,即在单

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李莉萍;;新的3D缺陷检测技术实现纳米级快速检测[J];计测技术;2013年04期

2 杨建鲁;一种简便的介质缺陷检测方法[J];微电子学;1991年05期

3 肖庆;杨朝红;宫云战;;提高静态缺陷检测精度方法[J];计算机辅助设计与图形学学报;2010年11期

4 朱明岩;邓洪亮;黄东辉;付思远;;探地雷达在道路缺陷检测中的应用[J];山西建筑;2014年04期

5 ;KLA-Tencor新光罩检测技术可执行多缺陷检测[J];电子与电脑;2008年10期

6 喻宾扬;王召巴;金永;;玻璃缺陷检测新方法的研究[J];传感器与微系统;2008年08期

7 刘浩;刘春;胡存刚;;混合滤波器在玻璃瓶缺陷检测中的应用[J];电子测量与仪器学报;2007年03期

8 蒋艳军;卢军;陈建军;;板栗图像的去噪及缺陷检测研究[J];农产品加工;2008年09期

9 石强;陈陆建;;管道内外壁缺陷检测的研究[J];中小企业管理与科技(上旬刊);2010年05期

10 刘皓挺;王巍;史利民;;图割模型在光纤熔接缺陷检测中的应用[J];红外与激光工程;2012年11期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 杨德美;杨学志;;基于独立分量分析高阶统计量的纺织品缺陷检测[A];全国第21届计算机技术与应用学术会议（CACIS·2010）暨全国第2届安全关键技术与应用学术会议论文集[C];2010年

2 于景兰;于健;翁昌年;;探地雷达在桥梁缺陷检测中的应用初探[A];中国地球物理第二十一届年会论文集[C];2005年

3 李兵;邓善熙;李焕然;;计算机图像处理技术应用于晶振元件缺陷检测[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年

4 赵涟漪;许宝杰;童亮;;在线玻璃缺陷检测系统的研究[A];机械动力学理论及其应用[C];2011年

5 何涛;吴永祥;李伟;吴庆华;钟飞;;Hexsight视觉软件包在串行端子缺陷检测中的应用[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集（2）[C];2008年

6 曾理;郭海燕;蒲云;毕碧;;射线数字成像缺陷检测技术研究[A];全国射线数字成像与CT新技术研讨会论文集[C];2009年

7 蔡茂蓉;;PCB缺陷检测系统的研究与实现[A];第三届全国软件测试会议与移动计算、栅格、智能化高级论坛论文集[C];2009年

8 潘敏;程良伦;;一种基于角点匹配的PCB板元件安装缺陷检测基准点定位算法[A];中国自动化学会中南六省（区）2010年第28届年会·论文集[C];2010年

9 王国勋;彭怡;寇纲;石勇;;基于MCDM的软件缺陷检测算法评估[A];经济全球化与系统工程——中国系统工程学会第16届学术年会论文集[C];2010年

10 刘松林;陈杰;郝向阳;西勤;;玻壳缺陷检测与几何量测视觉系统的设计与实现[A];2009年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2009年

中国重要报纸全文数据库 前1条

1 本报记者 张海志;一名产业工人的创新情结[N];中国知识产权报;2010年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 刘洪江;基于机器视觉的毛杆缺陷检测技术的研究[D];广东工业大学;2011年

2 肖庆;提高静态缺陷检测精度的关键技术研究[D];北京邮电大学;2012年

3 张大林;静态缺陷检测优化若干关键技术研究[D];北京邮电大学;2014年

4 周文;IC互连中的缺陷检测方法及缺陷对电路可靠性的影响[D];西安电子科技大学;2010年

5 司小书;面向织物缺陷检测的CUDA并行图像处理模型与算法研究[D];武汉大学;2011年

6 刘艳;基于CCD扫描的聚合物薄膜缺陷检测关键技术研究[D];哈尔滨理工大学;2009年

7 王庆香;基于小波的纹理分析及其在FPC金面缺陷检测中的应用[D];华南理工大学;2011年

8 明俊峰;羽毛片缺陷检测若干关键技术的研究[D];广东工业大学;2014年

9 毕昕;面向TFT-LCD制程的Mura缺陷机器视觉检测方法研究[D];上海交通大学;2009年

10 张昱;基于机器视觉的TFT-LCD屏mura缺陷检测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 陈宇;软包商标印刷缺陷检测系统研究[D];昆明理工大学;2015年

2 周艳;光通信滤光片外观缺陷自动检测系统任务调度优化方法[D];华南理工大学;2015年

3 黄文军;基于机器视觉的印字缺陷检测系统研究与实现[D];五邑大学;2015年

4 陈洪磊;基于宽频信号的板中缺陷检测[D];上海应用技术学院;2015年

5 章玲;基于图像放缩算法的轮胎缺陷检测系统研究与实现[D];山东大学;2015年

6 刘博;基于电磁超声Lamb波换能器阵列的板材检测方法研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

7 孔令丹;柔性电路板缺陷检测算法与系统研究[D];中国计量学院;2013年

8 邵鑫玉;织物缺陷检测关键技术研究[D];扬州大学;2014年

9 王子娟;基于声音的烧砖内部缺陷检测[D];东北大学;2008年

10 沈瑾瑾;基于镜面成像显微拍摄的钢球缺陷检测的研究[D];南京邮电大学;2013年

，

本文编号：985816