多层介质滤光片的制备及激光损伤特性
本文关键词:多层介质滤光片的制备及激光损伤特性
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【摘要】:为了获得具有较高激光损伤阈值的短波通截止滤光片,使用TFCalc膜系软件设计了多层膜的光谱曲线和电场强度曲线,采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了LaTiO_3/SiO_2组合膜堆的滤光片,通过激光辐照预处理工艺尝试提高多层膜的激光损伤阈值(LIDT),测试并讨论了激光预处理对滤光片LIDT的影响.研究结果表明:通过分析滤光片的电场强度,得到优化后的膜系是G|(HL)10 H0.5L|A,制备后滤光片的LIDT为11.7J·cm~(-2)(1 064nm,10ns);当辐照激光能量为滤光片LIDT的80%时,辐照后滤光片的LIDT为14.3J·cm~(-2)(1 064nm,10ns),较原值提高22.2%;当辐照能量为80%,采用不同辐照次数实验时,发现辐照3次后滤光片的LIDT为16.1J·cm~(-2)(1 064nm,10ns),较原值提高了37.6%.激光预处理后滤光片的表面粗糙度都有下降的趋势.
【作者单位】: 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;西安现代控制技术研究所;白俄罗斯国立信息与无线电电子大学;
【关键词】: 短波通滤光片 LaTiO/SiO 激光损伤阈值 激光预处理
【基金】:科技部国际合作资助项目(2013DFR70620) 国家自然科学基金(61378050) 陕西省教育厅科研计划项目(16JS037)
【分类号】:O484.41;TN249
【正文快照】: 3.白俄罗斯国立信息与无线电电子大学,明斯克220013)短波通滤光片可以实现一部分光透过,一部分光截止的光学特性,被广泛应用于各式各样的光学系统中.存在于激光系统中的多层介质滤光片,由于其较差的抗激光损伤能力,已成为限制高能激光发展的瓶颈[1-2].随着高功率激光器地不断
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