高分辨二次离子质谱超高真空样品台的研制

发布时间：2017-10-18 01:37

  本文关键词：高分辨二次离子质谱超高真空样品台的研制

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【摘要】：目前,微束类分析仪器的一次离子束斑越来越精细,直径已达到微米级甚至亚微米级,仪器真空度也已达到稳定的超高真空水平,因此,亟需研制一种与之相匹配的高分辨样品台,提高在超高真空环境下的分辨力及定位精度。新研制的样品台,通过置于真空腔体外部的高精度滑台驱动小型焊接波纹管的伸缩传递三维运动,解决了大尺寸焊接波纹管表面放气及承受较大大气压力的问题;通过使用适用于超高真空的材料和固体润滑、无动态密封,解决了高真空中摩擦偶件的润滑问题。实验数据表明:在40mm行程范围内,运动平台三轴定位重复性为0.94、1.83、0.38μm,分辨力为0.10μm,并已成功地应用在1.19×10-6 Pa超真空环境下。外置的高精度滑台不仅克服了真空电机在真空腔体内发热及绝缘材料放气的问题,而且不需要引入任何电子电气元件及导线,不会在分析腔室内产生电磁干扰,行程不受装置本身的限制。这些特性不仅可满足二次离子质谱仪的要求,也适用于具有高分辨、超高真空环境、无污染要求的其他分析测试仪器。
【作者单位】： 中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心;
【关键词】： 二次离子探针质谱 三维样品台 超高真空 真空电机 固体润滑
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项《同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器》(2011YQ050069)资助
【分类号】：O657.63
【正文快照】： 随着地球科学、宇宙科学、材料科学、生命科学及半导体微电子行业的发展和仪器制造水平的提高,微束类分析仪器的一次离子束斑直径越来越小,样品台移动的步距也越来越小,即分辨力越来越高,对样品的分析越来越精细。所有微区原位分析的微束类仪器在使用时都要涉及一个重要的部件，

本文编号：1052218