微型填充式气相色谱柱的制备（英文）

发布时间：2017-11-11 08:40

  本文关键词：微型填充式气相色谱柱的制备（英文）

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【摘要】：为了分离永久性气体及低碳轻化合物,基于MEMS技术,研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比,色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术,这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道,这是其他化学腐蚀技术无法比拟的。研制的色谱柱其沟道横截面为1.2mm(深度)×0.6mm(宽度),深宽比为2∶1。实验结果表明,这种微型填充柱,具有较大的样品容量,能很好的实现CO和SO_2的分离。
【作者单位】： 北京市劳动保护科学研究所;中国科学院电子学研究所;
【基金】：supported by National Natural Science Foundation of China(61176112,60976088) Beijing science and technology plan project(Z141100003414003)
【分类号】：O657.71
【正文快照】： [　　The　gas　mixtures　separated　by　micro-fabricated　GC　columns　are　predominantly　VOCs　gaseous1-11]as　it　isvery　difficult　to　uniformly　fill　chromatographic　packing　in　the　folding　or　bending　shallow　channels,In　orderto　separate

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本文编号：1170661