焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟
本文关键词:焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟 出处:《人工晶体学报》2016年01期 论文类型:期刊论文
【摘要】:以氢气和氧气的燃烧为基础,研究了焰熔法生长金红石单晶体过程中生长室内的温度分布特征,分析了H_2和O_2流量对温度分布的影响。结果表明:中心轴向温度随喷嘴距离的增加而升高,在距喷嘴92 mm处达到最高温度3290.3 K后开始下降;晶体熔帽径向温度随直径的增加逐渐减小,熔帽边缘温度则急剧升高;随着H_2流量增加,生长室内中心轴向和径向温度逐渐增大,H_2流量增加2 L/min,中心最高温度平均升高130℃,最高温度的位置向下移3.1mm,晶体熔帽表面温度平均升高70℃;增加内O_2和外O_2流量均导致生长室内中心轴向和径向温度降低,而使晶体熔帽上的压力升高,外O_2对温度的影响较大,而内O_2对晶体熔帽压力的影响较大。
【作者单位】: 沈阳工程学院能源与动力学院;东北大学材料与冶金学院;
【基金】:国家自然科学基金(51472047)
【分类号】:O782
【正文快照】: (Received 25 August 2015,accepted 27 October 2015)1引言焰熔法是生长金红石单晶体的一种主要方法。高纯Ti O2粉末在通过高温的氢氧火焰后熔化并在籽晶上结晶,然后通过扩肩和等径生长,最后形成一个大的单晶体[1-3]。在焰熔法生长金红石单晶体过程中,生长室内轴向和径向温度
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,本文编号:1308356
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