基于微气相色谱技术的含硫恶臭气体检测

发布时间：2018-07-26 17:53

【摘要】：通过喷砂射流微细加工工艺与MEMS工艺,在Pyrex7740型硼硅玻璃表面进行刻蚀,得到400μm的微细通道,利用热压键合技术得到微型气相色谱柱。选择固定相CB-40(40%的苯基+60%的二甲基聚硅氧烷)对芯片内部进行涂敷,针对含硫的恶臭气体进行分离。并利用自制Tenax管式富集器对气体进行预浓缩,针对检测的含硫化合物与苯系物的恶臭气体提高了检测限。设计了自动进样系统与温度控制系统,并选取PID(Photoionization Detector)光离子化传感器作为终端传感器。选取典型的含硫恶臭物质与苯系物恶臭气体进行混合,实现了很好的分离,其中苯的检测限可以达到20×10~(-9),甲硫醚的检测限可以达到100×10~(-9)。
[Abstract]:The micro channel of 400 渭 m was obtained by etching on the surface of Pyrex7740 borosilicate glass by sand blast jet micromachining and MEMS process. The micro gas chromatographic column was obtained by hot pressing bonding technique. The stationary phase CB-40 (40% phenyl 60% dimethyl polysiloxane) was chosen to coat the chip and separate the sour odor gas. The self-made Tenax tube concentrator was used to preconcentrate the gas, and the detection limit was raised for the malodorous gases containing sulfur compounds and benzene series. The automatic sampling system and temperature control system are designed, and the PID (Photoionization Detector) photoionization sensor is selected as the terminal sensor. A good separation was achieved by mixing a typical sulfide-containing odor substance with a benzene-series odor gas. The detection limit of benzene and methyl sulfide could reach 20 脳 10 ~ (-9) and 100 脳 10 ~ (-9) respectively, and the detection limits of benzene and methyl sulfide were 100 脳 10 ~ (-9) and 100 脳 10 ~ (-9), respectively.
【作者单位】： 河北工业大学机械工程学院;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发资助项目基金(2012YQ060165)
【分类号】：X831;O657.71

【参考文献】

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【共引文献】

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