单晶生长用AlN粉料的烧结提纯工艺实验研究

发布时间：2019-03-09 16:00

【摘要】：使用自主研发的钨系统中频感应加热炉对AlN粉料进行了烧结提纯处理实验,并用XRD、SEM、IGA和GDMS等表征方法分析了烧结后的样品。实验发现,高温(2 250℃)长时间(50h)烧结提纯工艺效果显著,但AlN粉料损耗高达47.37%;而低温(小于2 000℃)分段式短时间(每段10h)烧结提纯工艺粉料损耗低于2%,但是提纯效果一般。通过对实验结果的综合分析,提出了一种AlN粉料烧结提纯的改进工艺,最终得到了氧含量仅238ppm、碳含量135ppm的高质量AlN单晶生长原料,并且显著增加了原料的利用率。
[Abstract]:The sintering purification experiment of AlN powder was carried out by using the medium frequency induction heating furnace of tungsten system, and the sintered samples were analyzed by XRD,SEM,IGA and GDMS. It was found that the high temperature (2 250 鈩，

本文编号：2437626