掺Nb浓度对溶胶凝胶法制备TiO 2 薄膜透明导电性的影响（英文）

发布时间：2022-02-08 15:29

　　采用溶胶凝胶（sol-gel）法制备出不同Nb掺杂浓度的Nb:TiO₂薄膜,再经过后续H2退火提高结晶性能。用X射线衍射（XRD）,X射线光电子谱（XPS）,扫描电子显微镜（SEM）,霍尔仪和紫外可见分光光度计检测分析样品的形貌和性能,其中包括结晶性能、元素价态、电学性能和透过率。结果显示,掺Nb的TiO₂薄膜的导电率随Nb浓度的增加而降低,当掺Nb浓度为8%时,样品具有最优异的性能,其方块电阻可以达到约4.2×104?/□,透过率高达70%左右。 

【文章来源】：稀有金属材料与工程. 2016,45(S1)北大核心EISCICSCD

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本文编号：3615312