基于ZnO薄膜电阻存储器的制备及性能研究

发布时间：2025-01-05 21:04

　　

【文章页数】：120 页

【学位级别】：博士

【文章目录】：
第一章 绪论
    1.1 引言
    1.2 ZnO薄膜的基本特性及其应用
    1.3 电阻存储器的研究现状
    1.4 ZnO电阻存储器的研究现状
    1.5 本论文主要研究内容
第二章 基于ZnO薄膜电阻存储器的制备及表征
    2.1 器件制备
    2.2 器件表征
第三章 氧分压对ZnO薄膜电阻开关特性的影响
    3.1 引言
    3.2 实验过程
    3.3 计算方法
    3.4 结果与讨论
    3.5 本章小结
第四章 退火对ZnO薄膜电阻开关特性的影响
    4.1 引言
    4.2 实验过程
    4.3 结果与讨论
    4.4 本章小结
第五章 ZnO薄膜厚度对电阻开关特性的影响
    5.1 引言
    5.2 实验过程
    5.3 结果与讨论
    5.4 本章小结
第六章 电极对ZnO薄膜电阻开关特性的影响
    6.1 引言
    6.2 下电极对ZnO薄膜电阻开关特性的影响
    6.3 上电极对ZnO薄膜电阻开关特性的影响
    6.4 电极尺寸对ZnO薄膜电阻开关特性的影响
    6.5 本章小结
第七章 Pt/ZnO:Ti/n⁺-Si电阻存储器的研究
    7.1 引言
    7.2 实验过程
    7.3 结果与讨论
    7.4 本章小结
第八章 Pt/TiO_x/ZnO/n⁺-Si电阻存储器的研究
    8.1 引言
    8.2 实验过程
    8.3 结果与讨论
    8.4 本章小结
第九章 结论
参考文献
致谢
个人简历
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果



本文编号：4023262