基于浓硼扩散层的硅纳米线谐振子制备

发布时间：2017-10-17 09:22

本文关键词：基于浓硼扩散层的硅纳米线谐振子制备

【摘要】：纳机电系统(NMES)由于具有体积小、智能化、可靠性高等优点而被广泛研究。其中纳米线谐振子的本征频率能够达到MHz甚至GHz,可应用于各种高性能的质量传感器、谐振器、滤波器等。但是,要制备形貌规则可控的纳米线谐振子,对加工技术要求很高。目前急需一种工艺简单、重复性好、三维尺度可控的硅纳米线制备方法。本文重点研究了基于浓硼扩散层的可集成硅纳米线谐振子的制备方法。该方法采用电子束光刻定义可控尺度硅纳米线,并利用TMAH腐蚀自停止效应实现谐振子的释放。文中还采用SEM对所制备的纳米线谐振子进行了表征。实验结果表明,基于浓硼扩散层制备的硅纳米线谐振子形貌规则,结构可控可调。该方法能够实现可控制的大面积、高产率、低成本、可集成的硅纳米线谐振子制备。
【作者单位】：中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心;
【关键词】： 纳机电系统(NMES) 硅纳米线 自上而下法 谐振子
【基金】：国家自然科学基金项目(61474115、61404128、61372059、61274066) 国家高技术研究发展计划项目(863项目,2014AA032302)资助
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 纳机电系统(NMES)是微机电系统(MEMS)向小型化、高集成、低功耗方向进一步发展而拓展出的研究领域。纳米尺度的谐振器是NEMS的重要组成部分,特别是纳米线谐振子是多种NEMS谐振器的核心结构。在纳米尺寸下器件表现出强烈的尺度效应,具有超高频率,能够达到MHz甚至GHz。例如,加州

【参考文献】

中国期刊全文数据库前2条

1 李永军,刘春艳;一维无机纳米材料的研究进展[J];感光科学与光化学;2003年06期

2 李国正;Si的化学自停止腐蚀方法的研究[J];微电子学;1995年04期

【共引文献】

中国期刊全文数据库前10条

1 刘杨;张明亮;季安;王晓东;杨富华;;基于浓硼扩散层的硅纳米线谐振子制备[J];影像科学与光化学;2016年03期

2 王洪超;车美美;楚振明;付岩;崔春阳;金立国;;TiO_2纳米棒多孔光阳极复合薄膜的制备和表征[J];化学与黏合;2015年02期

3 殷晓燕;何彦;;DNA在SiO_2纳米粒子薄膜表面的单分子行为研究[J];化学传感器;2010年04期

4 李春梅;罗康碧;李沪萍;陈锐;;硫酸钙微米/纳米材料的研究进展[J];化工科技;2009年04期

5 杨阳;刘辉;吕军;赵晓鹏;;双模板辅助化学电沉积法制备金属银树枝状结构阵列[J];功能材料;2008年05期

6 卢义刚;王炳喜;金新颖;;准一维NiO纳米材料的制备研究进展[J];兵器材料科学与工程;2007年03期