子孔径拼接在超精密平面加工中的应用

发布时间：2017-10-27 15:26

  本文关键词：子孔径拼接在超精密平面加工中的应用

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【摘要】：在超精密平面加工过程中,面型精度的检测水平往往限制着精度的进一步提高,常规机械加工的测量仪器一般通过打点方式测量精度,能检精度达到μm级,对于面型精度要求更高的工件往往不能满足要求。引入平面干涉仪的光学检测手段,提高能检精度。对于大尺寸工件,采用子孔径拼接技术还原整个面型,节约成本。检测结果指导加工,从而进一步提高工件面型精度。实验结果证明子孔径拼接后面型和实际面型一致,适用于此类加工的检测。
【作者单位】： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;
【关键词】： 光学检测 超精密加工 子孔径拼接 陶瓷导轨
【分类号】：TH16
【正文快照】： 0引言在大尺寸工件的超精密平面加工过程中[1-3],由于检测手段的局限,加工精度提高有限。机械加工中面型精度的常规测量仪器有三坐标测量机、检测环加千分表和电感测微仪等,一般通过打点方式测量面型精度,效率不高且不能反映出面型的高频误差;精度不高,通常为μm级。对于面型，

本文编号：1104109