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超精密摩擦传动机构

发布时间:2017-11-18 22:20

  本文关键词:超精密摩擦传动机构


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【摘要】:针对超精密传动机构定位精度高、行程大、运行平稳、激励振动小、系统可靠性高的要求,设计了一种双圆弧型驱动轮摩擦副的超精密摩擦传动机构,与圆柱型驱动轮摩擦副、双V型驱动轮摩擦副的结构相比,减小了接触应力,提高了接触刚度。应用赫兹接触理论对摩擦副的接触区域中最大接触应力以及接触变形量进行分析。实验表明该摩擦传动机构在300 mm全行程范围内,定位精度±10 nm。
【作者单位】: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【分类号】:TH132.2
【正文快照】: 超精密传动机构有高运动分辨力、高定位精度、高运动平稳以及高系统可靠性等要求。目前主要采用方式有滚珠丝杠、静压丝杠、直线电机、摩擦传动等。滚珠丝杠具有良好的定位精度,较高的位移分辨力和较高的动、静刚度。其缺点是丝杠和螺母之间的预紧力对系统的分辨力和静态、动

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本文编号:1201371

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