面向PVA薄膜模具制造的滚型纳米压印光刻机的研究与开发

发布时间：2017-12-25 04:32

  本文关键词：面向PVA薄膜模具制造的滚型纳米压印光刻机的研究与开发　出处：《青岛理工大学》2014年硕士论文　论文类型：学位论文

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【摘要】：为实现水溶性PVA薄膜型模具高效、低成本规模化生产，本文提出一种滚型纳米压印工艺，并基于该工艺开展了PVA薄膜模具滚型纳米压印光刻机研究与开发。主要完成了滚型纳米压印光刻机的总体设计，其中重点介绍了干燥模块和压印模块。 其次针对滚型纳米压印过程中软模具变形问题，提出接触理论模型，揭示滚轮型模具变形机制和主要影响因素，阐述了硬质接触和柔性接触两种压印方式显著区别和特点，并且通过数值模拟，检验和评判所建立理论模型的正确性和准确性，进一步揭示软模具变形机制和主要影响要素。 狭缝涂布作为整个生产PVA薄膜模具过程的开始工序，其涂布层厚度的一致性对于后续成功转移模具上微特征图形到涂布层上有着至关重要的作用，因此对涂布层进行了纳维-斯托克斯方程理论分析，提出了上游和下游的流速、流量公式，解释了涂布层的流动机理，并且通过CFD商业软件FLUENT进行模拟得出基底速度过高，容易卷入空气造成涂布失败的结论。 最后由于在PET薄膜上进行的是微纳米级压印，高精度转移微特征图案对薄膜张力有着严格要求，控制薄膜传输过程中张力恒定是本文的研究重点，避免薄膜上的张力波动造成薄膜上的压印图形的不准确。在本文中，经过对PET薄膜张力控制的研究，对PET薄膜张力进行分段控制，建立对PET薄膜卷绕装置的张力控制数学模型，，并选取相应的执行机构，最后通过MATLAB/SIMULINK进行张力仿真。
【学位授予单位】：青岛理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2014
【分类号】：TB43;TH122;TG76

【参考文献】

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本文编号：1331385