环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜

发布时间：2018-01-02 10:31

本文关键词：环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜　出处：《强激光与粒子束》2016年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。
[Abstract]:Micro electro mechanical system (MOEMS) micro mirror in laser display, beam scanning, adaptive optics field have important applications. The existing MOEMS micro mirror driver general electrostatic attraction type, and a variety of problems, to overcome the attraction effect caused by the square and circular mirror drive to form a good match, filling is relatively low. A annular electrostatic repulsion driver MOEMS micro mirror, the electrostatic repulsion driver in an annular array around the mirror, and around, to achieve good matching with the circular mirror. The design of the micro mirror is 204 m, and processed by PolyMUMPS surface technology. The test results of simulation and experiment show that the maximum rotation angle of the micromirror is 0.62 degrees, the response time and the 1.191kHz 494 s operating bandwidth, application requirements for general beam scanning.

【作者单位】：成都信息工程大学通信工程学院;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(11403029) 中国科学院青年创新促进会资助项目(2014346) 四川省科技创新苗子工程资助项目(2015064) 成都信息工程大学科研基金项目(J201505)
【分类号】：TH-39
【正文快照】： [　　微镜是微光机电系统(MOEMS)1-2]技术的重要器件之一,可用于投影显示[3-4]、光束扫描[5-6]、自适应光学[7-8]等领域。微镜通过绕单轴或者双轴旋转,可对反射光的方向进行调制。微镜的主要性能指标,如旋转角、响应速度等,主要由其加工工艺来决定。当前由于高单元密度、小尺

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