复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响

发布时间：2018-05-12 12:40

  本文选题：复合分子泵 + 牵引级　； 参考：《东北大学学报(自然科学版)》2016年10期

【摘要】：建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,存在最优螺旋槽深,使牵引级的压缩比达到最大;螺旋升角对最优螺旋槽深影响较小;最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小,随转子转速的增加而增加;当被抽气体为黏滞流时,最优槽深值更小.
[Abstract]:A theoretical model for describing the pumping performance of the traction stage of a compound molecular pump is established. According to the theoretical model, the relationship between the depth of spiral groove and compression ratio of traction stage is studied under the conditions of different spiral lift angle, rotor stator clearance, rotor speed and gas flow state. The results show that the compression ratio increases first and then decreases with the decrease of the depth of the spiral groove, and there is an optimal depth of the spiral groove, which makes the compression ratio of the traction stage reach the maximum, and the spiral angle has little effect on the optimal depth of the spiral groove. The optimal spiral groove depth decreases with the decrease of rotor stator clearance and increases with the increase of rotor speed, and the optimal groove depth is smaller when the extracted gas is viscous.
【作者单位】： 东北大学机械工程与自动化学院;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429)
【分类号】：TH38

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本文编号：1878656