微米纳米器件与材料专题述评

发布时间：2018-08-16 15:07

【摘要】：正半导体产业发展的初期(20世纪60年代),人们发现微米级别的元器件不但体积小,而且表现出比宏观尺寸器件更优良的电学和机械性能。这种新奇的现象引起了当时业界的兴趣,随后微米技术及其理念很快进入了半导体以外领域,与机械等传统学科相结合,产生了新的研究方向即微机电系统(MEMS)。在其发展初期,大批量的MEMS器件被应用在汽车行业,在安全气囊传感控制中迅速取得了成功。而后MEMS传感器
[Abstract]:In the early days of the development of positive semiconductor industry (1960s), it was found that micrometer components were not only small in size, but also showed better electrical and mechanical properties than macroscopically sized devices. This novel phenomenon aroused the interest of the industry at that time, then micron technology and its concept quickly entered the field outside semiconductor, and combined with the traditional disciplines such as machinery, resulting in a new research direction, that is, micro-electromechanical system (MEMS). In the early stage of its development, a large number of MEMS devices were applied in the automotive industry, and achieved rapid success in the airbag sensing control. Then MEMS senso
【作者单位】： 精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学);
【分类号】：TH-39;TB383.1

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本文编号：2186351