非回转非容积型无阀压电泵的动力学分析和实验研究
【学位授予单位】:南京航空航天大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TH38
【图文】:
L.Smith和AHok的被动阀
图 1.3 L. Smith 和 AHok 的被动阀 图 1.4 H. Yang 提出的双晶片被动阀B. Li 等(2003 年)开发了带有高频高压微被动阀的压电泵(见图 1.5)[25]。其新型的十字形微阀区域用于增大阀结构的刚度,压力可达到 10 MPa;机械泵阀制动器使得阀区域在极端高压的条件下失效。阀区域是在硅基板上用电化镍制作而成的,工作频率可在 104Hz 以上;阀渠道由深度反应离子刻蚀加工而成,阀总重为 0.2 g,集成在紧凑型压电泵中,在 3×105Pa 背压下流量达到 18 mL/min,当工作频率 10 KHz 时压差为 2.4 MPa。图 1.5 紧凑型压电泵的被动微阀曾平、刘国君等(2005 年)提出了球阀式压电泵(图 1.6)[26], 并分析了球阀式压电薄膜
【参考文献】
相关期刊论文 前10条
1 杨兴,周兆英,叶雄英,王晓浩;MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 张建辉;黎毅力;刘菊银;徐宇哲;;“Y”形流管无阀压电泵流场分析[J];北京工业大学学报;2008年02期
3 成巍 ,苏玉民 ,秦再白 ,万磊 ,徐玉如;一种仿生水下机器人的研究进展[J];船舶工程;2004年01期
4 王光明;胡天江;沈林成;;仿鱼柔性长鳍波动运动分析与建模[J];动力学与控制学报;2006年04期
5 李明;史金飞;宋春峰;关鸿耀;王春健;;一种摆动式柔性尾部的仿生机器鱼[J];东南大学学报(自然科学版);2008年01期
6 千学著,葛伟,李静;压电陶瓷风扇的研制[J];电子元件与材料;2004年10期
7 周叮;;两侧受液时悬臂梁的自由振动分析[J];工程力学;1991年03期
8 夏齐霄;张建辉;李洪;;非对称坡面腔底无阀压电泵[J];光学精密工程;2006年04期
9 张建辉;黎毅力;夏齐霄;路计庄;;“Y”形流管无阀压电泵振动分析及泵流量计算[J];光学精密工程;2007年06期
10 吴丽萍;程光明;杨志刚;曾平;吴银柱;;双作用压电泵绝缘压电振子[J];光学精密工程;2008年01期
相关博士学位论文 前5条
1 陈宏;仿生机器鱼巡游和机动的运动机理研究[D];中国科学技术大学;2006年
2 李鹏;主动阀压电泵的理论与实验研究[D];吉林大学;2007年
3 杨侠;柔性尾鳍的水动力分析及实验研究[D];华中科技大学;2006年
4 王光明;仿鱼柔性长鳍波动推进理论与实验研究[D];国防科学技术大学;2007年
5 何丽鹏;微小型主动阀压电泵的结构设计理论及控制系统的研究[D];吉林大学;2010年
相关硕士学位论文 前3条
1 叶芳;“Y”形流管无阀压电泵的研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 郭宗信;软质锥壳形阀体压电泵的理论和实验研究[D];南京航空航天大学;2011年
3 胡雄海;双晶片压电振子式主动阀压电泵的研究[D];吉林大学;2008年
本文编号:2726600
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/jixiegongcheng/2726600.html