磁悬浮转子系统的温度场实验研究
【学位单位】:武汉理工大学
【学位级别】:硕士
【学位年份】:2006
【中图分类】:TH113
【部分图文】:
磁力轴承真空泵
图1.1卫星用飞轮电池图1.2磁悬浮飞轮电池电力调峰在真空和超净环境中的应用近几年来,由于半导体、光学镀膜、离子蚀刻和液晶显示器件等应用领域速发展,其质量要求越来越高,过去常用的有油污染的真空系统难以保证制备些材料的纯度和质量,有逐渐被淘汰的趋势,这种系统己被无油污染的干式清真空泵取代。
图1.1卫星用飞轮电池图1.2磁悬浮飞轮电池电力调峰在真空和超净环境中的应用近几年来,由于半导体、光学镀膜、离子蚀刻和液晶显示器件等应用领域速发展,其质量要求越来越高,过去常用的有油污染的真空系统难以保证制备些材料的纯度和质量,有逐渐被淘汰的趋势,这种系统己被无油污染的干式清真空泵取代。
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本文编号:2823723
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