微型轴承—转子系统动力特性的研究
发布时间：2021-03-27 22:49
1987年,加州大学伯克利分校研制成功第一台静电微马达,标志着微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS）时代的到来。MEMS的出现在旋转机械领域带来了一场微小型化革命,以加工微/纳米旋转机械结构和系统为目的的技术应运而生,促进了微转子系统的长足发展,并逐渐成为MEMS研究的热点。作为MEMS的动力源,微马达一直是研究的热点问题。大功率、高转速马达的发展,对转子和轴承间的润滑技术提出了更高的要求。气浮轴承能够满足其相应的要求,如工作转速高、运行阻力低、运行时几乎没有磨损等。因此气浮轴承在微型高速转子的支撑系统中具有独特优势。国际上,诸多著名院所正致力与该领域的理论研究与实用探索。当前微旋转机械的研究主要集中在微转子系统结构的加工工艺与制造、静态特性分析和测量方法等方面。而针对微转子-轴承系统的动力学特性,尤其是振动特性、摩擦磨损特性、动力润滑特性、动态测试和控制技术及可靠性等方面的研究还很少或尚未涉及。与常规宏观机械理论研究不同,MEMS系统具有突出的微尺度效应。它的问世和发展对转子-轴承的动力学提出新的挑战,加强对微转子-轴承动力学的理论和...
【文章来源】：上海交通大学上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：136 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
第一个半导体晶体管
－3－图1-1 第一个半导体晶体管 图1-2 第一个集成电路Fig.1-1 The first semiconductor transistor Fig1-2 The first ntegrate circuit1962年硅微压力传感器问世，其主要部件是硅膜和压敏电阻，采用体硅腐蚀工艺加工制作。1982年，美国加州大学伯克利分校的Howe和Muller制作了第一个微梁[9]。1989年，Fan，Tai和Muller研制出微弹簧[10]。1987年10月9日，IEEE的机器人和自动化委员会组织有关微系统的讨论会，相关学者展出了许多微型器件，包括微齿轮、马达、谐振子[11]和小型机器人。从1987年到1988年，来自MIT、Berkeley、Stanford、AT&T和NSF的15名科学家联名在国家计划建议书中提出“小机器
其车身根据半导体工艺的精密加工技术制作而成，由电动马达驱动。图1-3 第一台静电微马达 图1-4 微静电马达与头发丝的对比Fig.1-3 The first micro motor Fig.1-4 The micro motor and the hair图1-5 Sandia制造的MARV 图1-6 Sandia制造的微型机器人Fig.1-5 MARV of Sandia Fig.1-6 The micro robot of Sandia图1-7 日本Denso Corporation制作的世界上最小的微型小轿车Fig.1-7 The smallest micro car of Denso Corporation1988年起德国开始为期十年的微型机械制造技术的研究项目，研究各种刻蚀技术，并于1989年出版了第一本讨论微系统技术的著作《Micro-mechanic》。20世纪90年代后期，欧洲联络300多个相关机构，组成NEXUS(Network of Excellence inMultifunctional Microsystems)。在微细加工方面，德国首创同步辐射光刻电铸技术，即LIGA(德语Lithographie GalvanoformungAbformung)工艺，它是X光深度光刻、微电铸和微塑铸三种工艺的有机结合，可实现高深宽比的微结构制作。例如LIGA工
【参考文献】：
期刊论文
[1]高速微转子枢轴磨损特性分析[J]. 张文明,孟光,周健斌. 机械强度. 2007(01)
[2]超声电机中的非线性现象研究[J]. 曾劲松,姚志远,赵淳生. 中国机械工程. 2006(10)
[3]超高速微转子系统磨损特性的研究[J]. 张文明,孟光. 摩擦学学报. 2006(02)
[4]对发展我国超声电机技术的若干建议[J]. 赵淳生. 微电机(伺服技术). 2006(02)
[5]压电陶瓷驱动三自由度精密移动定位微小机器人[J]. 陈海初,李满天,王振华,孙立宁,王建国. 压电与声光. 2005(04)
[6]电磁驱动柔性振动膜无阀微泵[J]. 苏宇锋,陈文元,崔峰. 微细加工技术. 2003(04)
[7]基于微型涡轮发动机实现超高能量密度Power MEMS的研究[J]. 张力,徐宗俊,余成龙. 中国机械工程. 2003(15)
[8]基于电磁微马达的移动微机器人驱动控制[J]. 刘发明,陈佳品,张琛. 测控技术. 2003(02)
[9]压电微马达研究进展[J]. 阎立,褚祥诚,董蜀湘,李龙土. 压电与声光. 2002(02)
[10]微系统动力学中的若干非线性问题[J]. 傅卫平,方宗德. 力学进展. 2002(01)
本文编号：3104377
【文章来源】：上海交通大学上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：136 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
第一个半导体晶体管
－3－图1-1 第一个半导体晶体管 图1-2 第一个集成电路Fig.1-1 The first semiconductor transistor Fig1-2 The first ntegrate circuit1962年硅微压力传感器问世，其主要部件是硅膜和压敏电阻，采用体硅腐蚀工艺加工制作。1982年，美国加州大学伯克利分校的Howe和Muller制作了第一个微梁[9]。1989年，Fan，Tai和Muller研制出微弹簧[10]。1987年10月9日，IEEE的机器人和自动化委员会组织有关微系统的讨论会，相关学者展出了许多微型器件，包括微齿轮、马达、谐振子[11]和小型机器人。从1987年到1988年，来自MIT、Berkeley、Stanford、AT&T和NSF的15名科学家联名在国家计划建议书中提出“小机器
其车身根据半导体工艺的精密加工技术制作而成，由电动马达驱动。图1-3 第一台静电微马达 图1-4 微静电马达与头发丝的对比Fig.1-3 The first micro motor Fig.1-4 The micro motor and the hair图1-5 Sandia制造的MARV 图1-6 Sandia制造的微型机器人Fig.1-5 MARV of Sandia Fig.1-6 The micro robot of Sandia图1-7 日本Denso Corporation制作的世界上最小的微型小轿车Fig.1-7 The smallest micro car of Denso Corporation1988年起德国开始为期十年的微型机械制造技术的研究项目，研究各种刻蚀技术，并于1989年出版了第一本讨论微系统技术的著作《Micro-mechanic》。20世纪90年代后期，欧洲联络300多个相关机构，组成NEXUS(Network of Excellence inMultifunctional Microsystems)。在微细加工方面，德国首创同步辐射光刻电铸技术，即LIGA(德语Lithographie GalvanoformungAbformung)工艺，它是X光深度光刻、微电铸和微塑铸三种工艺的有机结合，可实现高深宽比的微结构制作。例如LIGA工
【参考文献】：
期刊论文
[1]高速微转子枢轴磨损特性分析[J]. 张文明,孟光,周健斌. 机械强度. 2007(01)
[2]超声电机中的非线性现象研究[J]. 曾劲松,姚志远,赵淳生. 中国机械工程. 2006(10)
[3]超高速微转子系统磨损特性的研究[J]. 张文明,孟光. 摩擦学学报. 2006(02)
[4]对发展我国超声电机技术的若干建议[J]. 赵淳生. 微电机(伺服技术). 2006(02)
[5]压电陶瓷驱动三自由度精密移动定位微小机器人[J]. 陈海初,李满天,王振华,孙立宁,王建国. 压电与声光. 2005(04)
[6]电磁驱动柔性振动膜无阀微泵[J]. 苏宇锋,陈文元,崔峰. 微细加工技术. 2003(04)
[7]基于微型涡轮发动机实现超高能量密度Power MEMS的研究[J]. 张力,徐宗俊,余成龙. 中国机械工程. 2003(15)
[8]基于电磁微马达的移动微机器人驱动控制[J]. 刘发明,陈佳品,张琛. 测控技术. 2003(02)
[9]压电微马达研究进展[J]. 阎立,褚祥诚,董蜀湘,李龙土. 压电与声光. 2002(02)
[10]微系统动力学中的若干非线性问题[J]. 傅卫平,方宗德. 力学进展. 2002(01)
本文编号：3104377
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