大角度微镜的评估与分析

发布时间：2017-05-26 11:27

  本文关键词：大角度微镜的评估与分析，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)微光机电系统是一个具有高效率、高表现以及低成本等特点的,非常具有吸引力的对于一般的光学问题的解决方案。 Hochschule Furtwangen University已经开发了基于SOI (Silicon-On-Insulator)硅片技术的一个用于激光反射的一个微镜系统。对于这个已经实现的微镜系统来说,其基本的技术参数为,当驱动电压为200V时,微镜镜面的旋转角度为±1.9mrad,约为±0.120。 本论文的目标为,选择合理的驱动方式使微镜镜面能够有一个较大的为200转动角度。微镜系统的常用的主要的驱动方式为：磁力驱动、电热驱动、静电场驱动、压电驱动和磁致伸缩驱动。在研究中,对于这些驱动的方式的各个方面,即各个驱动方式的优缺点都进行了一个详细的比较。最终,在各个方案的比较中选择静电场驱动方式以及磁力驱动方式。针对于这两个微镜的驱动方式,设计了一系列的不同的微镜驱动结构,并且对每个具体的微镜结构进行了详细的模拟、计算分析。然后,对于论文的要求来说多层结构的磁力驱动方式和梳状结构的静电驱动方式最合适的。 论文的进一步工作就是对于一个测试样品的加工流程的完善,设计加工流程中的具体参数。通过加工获得一个微镜的测试样品。
【关键词】：MOEMS 微镜 倾转微镜 SOI技术
【学位授予单位】：扬州大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2013
【分类号】：TH-39;TH74
【目录】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 第1章 绪论7-11
• 1.1 MEMS和光学MEMS的介绍7-9
• 1.1.1 微机电系统Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS)7
• 1.1.2 微制造技术7-8
• 1.1.3 硅的机械特性8-9
• 1.1.4 光学MEMS(MOEMS)9
• 1.2 基于MEMS技术的光学微镜9-10
• 1.3 本章小结10-11
• 第2章 微镜的驱动方式11-20
• 2.1 微镜的静电驱动方式11-14
• 2.2 微镜的磁力驱动方式14-15
• 2.3 微镜的电热驱动方式15-17
• 2.4 微镜的压电驱动方式17-18
• 2.5 微镜的其他的驱动方式(磁致伸缩驱动)18-19
• 2.6 本章小结19-20
• 第3章 大角度微镜的计算与模拟20-45
• 3.1 微镜的静电场驱动20-38
• 3.1.1 平板电容器的静电力以及能量20-22
• 3.1.2 基于平板执行器结构的微镜结构22-29
• 3.1.2.1 基于平板执行器结构的微镜结构A22-25
• 3.1.2.2 基于平板执行器结构的微镜结构B25-27
• 3.1.2.3 基于平板执行器结构的微镜结构C27-29
• 3.1.3 微镜的梳状驱动结构29-38
• 3.2 微镜的磁力驱动模式38-41
• 3.3 梳状结构微镜、静电驱动结构微镜的工作应力和共振频率41-44
• 3.3.1 工作应力41-43
• 3.3.2 扭转共振频率43-44
• 3.4 本章小结44-45
• 第4章 微镜的加工流程45-50
• 4.1 梳状结构微镜的加工流程45-46
• 4.2 磁力驱动微镜的加工流程46-49
• 4.3 本章小结49-50
• 第5章 工作总结与展望50-52
• 5.1 工作总结50
• 5.2 课题展望50-52
• 参考文献52-57
• 致谢57-58

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 赵全亮;李中翔;何广平;曹茂盛;王大伟;狄杰建;;锆钛酸铅厚膜驱动高机械品质因数微悬臂梁的制作与性能(英文)[J];硅酸盐学报;2014年01期

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本文编号：396694