MEMS微发火器件研究现状

发布时间：2017-06-08 09:07

  本文关键词：MEMS微发火器件研究现状，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：首先分析了国内外关于微电子机械系统(MEMS)微发火器件的研究报道;接着从与MEMS微加工工艺兼容性、发火输出、安全性等角度对比了装药型微发火器件、爆炸箔基微发火器件、多孔硅基微发火器件、含能金属薄膜基微发火器件和半导体桥基微发火器件的特点、研究现状和前沿方向,发现含能金属基和半导体桥基微发火器件两者前景最好,其中含能金属基微发火器件因具有发火输出大、与MEMS工艺兼容性好的优点受到广泛关注,而半导体桥基微发火器件因换能传热效率高、微加工兼容性高受到认可;最后指出改善微发火器件换能传热效率、降低器件无用能量散失和提高发火器件所加载的含能材料能量密度是微发火器件研究的主要方面。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学化工与环境学院;晋西工业集团;
【关键词】： 微电子机械系统(MEMS) 微发火器件 爆炸箔 多孔硅 含能金属 半导体点火桥
【基金】：国家自然科学基金(青年项目)资助项目(51505435) 中国博士后基金资助项目(2014M551061)
【分类号】：TH-39;TQ560
【正文快照】： reactive metal;semiconductor bridge0引言发火器件是接受外界信号或刺激即可爆燃或爆炸以实现点火、起爆和做功的器件,是火工品的核心品类以及空天发射系统和爆破装置最首要、最关键的一环,广泛应用于空天发射、爆破工程和汽车安全气囊等领域。随着现代信息技术和微纳技术在

【参考文献】

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本文编号：432015