音叉式全解耦微机电陀螺的设计与仿真

发布时间：2017-06-20 18:12

  本文关键词：音叉式全解耦微机电陀螺的设计与仿真，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：文中对严重影响微机电陀螺(简称微陀螺)灵敏度的机械耦合误差进行深层研究和分析,提出并设计了一种基于体硅制造的新型全解耦音叉式微陀螺仪。为实现新型微陀螺的驱动和检测模态完全解耦,在一定的带宽下保持较高的检测灵敏度,采用了新型敏感检测梁和对称的音叉式结构。根据微陀螺仪的实体模型建立了其动力学模型,应用两种空气阻尼模型对检测阻尼特性进行了研究和计算。通过多种固有模态的匹配仿真试验和谐响应分析,确定了新型微陀螺的检测方式和弹性梁结构参数。仿真结果显示,该新型陀螺实现了驱动和检测方向的完全独立,显著减小了机械耦合误差。
【作者单位】： 燕山大学机械工程学院;徐州重工集团;北京机床研究所;
【关键词】： 微机电陀螺 完全解耦 滑膜阻尼 梳齿电容 模态仿真
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 2.北京机床研究所,北京101312;3.徐州重工集团,江苏徐州221004)微机电陀螺(简称微陀螺)是MEMS技术与陀螺技术相结合的产品,它以高频微振幅部件替代高速旋转的转子,具有高集成、高精度、高可靠性、低成本、适应面广等优势。近年来,为解决微陀螺的耦合误差,国内外已作了大量研究

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本文编号：466501