压电微喷辅助液滴的多物理场耦合与实验
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【摘要】:针对微对象辅助释放的操作液滴需求,基于压电驱动的方法进行辅助液滴的分配控制,设计了压电微喷分配器,利用单脉冲压电激励实现非接触式分配,分析了单液滴的形成条件。基于多物理场法,建立压电微喷液滴的多物理场耦合模型,包括压电设备、流固耦合、层流和两相流模型,以此模拟液滴的形成进程,并分析影响液滴形成能力的因素。在构建的微操作系统平台上进行实验分析,结果表明,分配液滴的体积随着驱动电压的幅值和脉冲宽度的增大而增大,较大的参数值利于单液滴形成,与仿真结果分析一致。通过对控制参数的复合调节,所设计的分配器可分配3.5nL的最小液滴,满足微对象辅助释放的操作液滴要求。直径为200μm的锡球和聚苯乙烯微球的辅助释放任务的实施,验证了所提出的方法和研制工具的有效性。
【作者单位】: 山东理工大学机械工程学院;哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室;
【关键词】: 微操作 压电驱动 微喷 液滴 多物理场
【基金】:国家自然科学基金创新研究群体科学基金资助项目(51521003) 机器人技术与系统国家重点实验室(哈尔滨工业大学)自主研究课题(SKLRS201602C)
【分类号】:TH-39
【正文快照】: 微机电系统的发展促使操作构件日益微型化,质量轻、黏附力大的特性对微对象的可靠、无损操作提出了更高要求。微对象凸显的尺寸效应使黏着力相对于重力起到主导作用,拾取后的微对象易黏附在操作工具的末端,不能单依靠自身的重力而脱落[1-3],需借助外源作用力打破黏着平衡,实现
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