粗糙表面的黏着试验研究

发布时间：2017-07-07 19:01

  本文关键词：粗糙表面的黏着试验研究

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【摘要】：在微机械电子系统中,表面粗糙峰的几何特征、尺寸以及形状等对表面黏着以及摩擦特性有重要作用.为了研究粗糙度对黏着力的影响,首先用KOH溶液腐蚀硅片,得到8个粗糙度不同的样品.使用原子力显微镜(AFM)来测量样品的黏着力.分别使用两种探针来模拟不同的接触几何,第一种探针针尖为一个2μm左右的平台,另一种探针为尖探针.试验分别在干燥的手套箱内以及在空气中进行.在样品表面随机选取15个测量点,每个点测量50次,然后根据计算值,确定平面的平均黏着力以及标准差.并与Robinovich模型的计算结果作比较.结果显示:当粗糙度较小的时候,随着粗糙度增大,黏着力下降很快,这与Robinovich模型变化趋势较吻合;当粗糙度较大时,随着粗糙度增大黏着力略有增加,但不是很明显,与Robinovich模型相差较大.
【作者单位】： 华南理工大学机械与汽车工程学院;
【关键词】： 粗糙表面 原子力显微镜 黏着力 试验
【基金】：国家自然科学基金项目(51175182)资助~~
【分类号】：TH117.1
【正文快照】： 随着微机械电子技术的发展,越来越多的微纳米元器件和设备被广泛的使用.在宏观下,物体主要受到的是惯性力的作用;而在微纳米尺度下,由于较大的表面积与体积比,更多的是受到表面效应.因此,在微纳元器件的设计中要考虑表面效应的影响,提高元器件的强度以及减小表面力.其中,黏着

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本文编号：531388