基于平面柔顺机构的θ_xθ_yZ微动台静力学分析及优化设计

发布时间：2017-07-27 01:15

  本文关键词：基于平面柔顺机构的θ_xθ_yZ微动台静力学分析及优化设计

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【摘要】：设计了基于平面柔顺机构的θ_xθ_yZ微动台.只考虑平面柔顺机构的平面内变形建立其静力学分析过程,对各支腿对动平台的作用进行独立分析.通过卡氏位移定理求得输入输出之间的转换关系,并建立了平面支腿位移放大比与结构尺寸的直接关系,基于遗传算法进行了结构尺寸优化.最后完成了样机有限元分析及实验研究,结果验证了分析及优化方法的可靠性,理论模型与有限元仿真及实验结果的误差分别小于4%和12%.
【作者单位】： 中国矿业大学机电工程学院;
【关键词】： 柔性铰链 θxθyZ微动台 静力学 尺寸优化
【基金】：国家自然科学基金(51305444) 江苏省“六大人才高峰”计划(ZBZZ-041) 江苏高校研究生科研创新计划(KYLX15 1421) 江苏高校优势学科建设工程(PAPD)
【分类号】：TH112
【正文快照】： 1引言(Introduction)近年来,精密微动机械快速发展成为精密工程中的关键技术之一,在光刻、扫描隧道电子显微镜、微装配及生物操作等高新领域得到应用[1-2].为了实现微纳尺度的精度,柔顺机构被广泛使用,用柔性铰链代替传统运动副可实现无间隙无摩擦传动[3].随着应用需求增加,空

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本文编号：579207