MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望

发布时间：2017-08-04 12:14

  本文关键词：MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望

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【摘要】：微机电系统(MEMS)产品的广泛应用使得晶圆级测试技术必要性日益凸显。分析了国内和国际MEMS晶圆级测试系统硬件和MEMS晶圆级测试技术的现状。参照国际上利用RM8096/8097标准物质(RM)对MEMS产品进行计量测试的方法,给出了针对我国现有MEMS晶圆级测试系统校准问题的初步解决方案。并指出了该类测试系统今后向着标准化模块化方向发展的趋势。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第十三研究所;
【关键词】： 微机电系统 晶圆级测试系统 测试技术 标准物质
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 0引言微机电系统(MEMS)属于21世纪前沿技术,是对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪及惯性导航系统的总称。MEMS器件特征尺寸从毫米、微米甚至到纳米量级,涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多个学科[1]。在产品的研制方面,能够显著提升装备轻量化、小型化、精确化和集成，

本文编号：619512