发展中的RF MEMS开关技术

发布时间：2017-08-08 07:11

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【摘要】：射频MEMS开关是用MEMS技术形成的新的电路元件,与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大、线性度好等优点,将对现有雷达和通信中RF结构产生重大的影响。介绍了射频MEMS开关的工作原理、优化设计,分析了可靠性问题,举例说明了射频MEMS开关的应用,指出了其发展所面临的问题。
【作者单位】： 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海交通大学微纳米科学技术研究院
【关键词】： 射频开关 MEMS技术 高频电路
【基金】：信息产业部微电子技术项目(41308050116)
【分类号】：TM564
【正文快照】： 1引言微电子技术的强大生命力在于它不断地与其他领域的技术相结合,以开发新的功能和新的应用领域。随着微电子技术的深入发展,近年来兴起的微电子机械系统(MEMS)技术与DNA生物芯片技术,是微电子技术的革命性突破,显示了微电子技术新的发展趋势。MEMS是微电子技术与机械、光

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