聚焦离子束致形变微纳加工研究进展

发布时间：2017-08-23 07:03

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【摘要】：聚焦离子束技术(focused ion beam,FIB)由于其高精度刻蚀、定点加工、实时成像等优势,常用于精密加工、TEM制样等领域。其工作机理通常为:刻蚀、淀积与成像。而基于FIB新的加工手段正在被探索和研究,其中就包括两种聚焦离子束致形变技术,分别为聚焦离子束应力引入致形变技术(FIB-stress induced deformation,FIBSID)和聚焦离子束物质再分布致形变技术(FIB-material-redistribution induced deformation,FIB-MRD)。前者通过控制FIB辐照时离子注入与溅射之间的竞争关系实现悬臂梁的多角度弯曲,后者利用粒子与物质作用时的瑞利不稳定性构建纳米结构,在一定意义上扩充了聚焦离子束的应用范围。运用上述方法可以加工三维微纳螺旋,悬浮光滑纳米弦以及大规模阵列化纳米网孔等多样化微/纳功能构件,在微流控系统,太赫兹通信,光学天线等领域具有很强的应用前景。
【作者单位】： 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室;北京大学电子显微镜实验室;
【关键词】： 聚焦离子束应力引入致形变 聚焦离子束物质再分布致形变 微/纳功能结构加工
【基金】：国家级先进制造预研项目 国家自然科学基金资助项目(No.50775001) 国家“863计划”专题课题(No.2009 AA01Z228)
【分类号】：TH16
【正文快照】：

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本文编号：723618