复杂支承条件下分子泵转子动力学特性数值模拟与实验研究

发布时间：2017-09-05 13:07

  本文关键词：复杂支承条件下分子泵转子动力学特性数值模拟与实验研究

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【摘要】：为了有效提高复合分子泵转子系统的振动抑制效果,围绕与其密切相关的支承结构刚度特性展开研究。首先针对分子泵两端复杂支承条件,采用实验方法研究永磁轴承和橡胶减振垫的刚度特性;然后基于支承刚度特性建立分子泵转子系统数值模拟模型,采用模态分析法求解转子系统的特征频率及对应振型,采用谐频响应分析法求解转子系统在最大不平衡响应;最后搭建实验平台测试分子泵系统的振动特性。实验结果表明:所建立的数值模拟模型能够较好地预测分子泵转子系统的振动特性,合理设计分子泵支承结构能够有效提高分子泵转子系统的振动抑制效果。
【作者单位】： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【关键词】： 分子泵 复杂支承 转子动力学 数值模拟
【基金】：国家重大仪器设备开发专项“高速小型复合分子泵的开发与应用”(2013YQ130429)
【分类号】：TH38
【正文快照】： 1引言复合式分子泵具有抽气性能高、耗能低等优势,已经成为质谱分析、真空检漏等高端仪器设备的关键功能部件,在真空领域得到了广泛应用[1]。为了得到高真空度(10-9pa)环境,通常要求复合分子泵达到较高的转速(72000r/min)。在启动或者停止过程中,通过临界转速时不可避免地会

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本文编号：798141