轴承滚珠面型误差激光干涉测量系统的研究

发布时间：2017-09-09 14:12

  本文关键词：轴承滚珠面型误差激光干涉测量系统的研究

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【摘要】：在以激光干涉方法进行轴承滚珠面型误差测量时,为避免特制参考标准球面镜自身球度误差对测量结果的影响,提出了一种以平面镜代替球面镜的泰曼-格林轴承滚珠面形误差干涉测量方法,并设计了相应的测量系统。该方法基于相移干涉原理,通过计算机控制压电晶体使参考平面镜获得固定步数的位移,以获得多幅干涉图像,使用电荷耦合图像传感器(CCD)对得到的干涉图像进行采集,系统对获取图像进行相位提取解包裹运算以得到球面的面型误差。对于测量中由轴承滚珠定位精度而引起的离焦、倾焦调整误差,采用泽尼克多项式波面拟合的方法来消除其对测量结果的影响。实验表明,该系统的测量结果与ZYGO干涉仪所得到的结果相比较,峰峰值相差0.001 6λ,均方根误差相差0.004λ,能够有效地对轴承滚珠面型进行检测,且测量结果具有较高的可靠性。此外,该方法还可进一步推广应用于其他需要进行圆球度测量的领域,具有广泛应用前景。
【作者单位】： 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
【关键词】： 相移干涉 轴承滚珠 波面拟合 调整误差
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51375376)
【分类号】：TH133.33;TN24
【正文快照】： 滚动轴承在精密机械系统中具有广泛的应用,如作为航空发动机转子系统支撑部件、高速铁路车辆支撑部件、机床主轴重要组件等。滚珠作为滚动轴承的核心元件,承担着减小摩擦、承载负载的作用,高精度的轴承滚珠可以增加轴承使用寿命,提高轴承旋转精度。在滚珠的生产过程中,往往会，

本文编号：820898